출원번호 : **********26  (2001.12.27)
등록일자 : 
출원인 : 주식회사 실트론
IPC : C30B 15/10
초록 : 본 발명은 불활성 가스의 유동을 제어하여 챔버 내부의 핫존에 증착되는 산화물을 감소시키고, 불활성 가스가 역류되더라도 챔버 내부의 핫존이 산화물에 재오염되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 실리콘 융액으로 복사 전달되는 히터의 열 에너지가 감소되는 것을 방지하여 고품질의 단결정 잉곳 성장이 가능한 단결정 잉곳의 제조장치에 관한 것으로서, 이를 위해 상부와 하부에 각각 가스공급관 및 진공 배기관이 형성된 챔버와, 챔버의 내부에 장착되어 실리콘 융액이 담겨지는 석영 도가니와, 석영 도가니를 지지하고 회전하는 페데스탈에 축합된 흑연 도가니와, 흑연 도가니의 외연에 설치되어 실리콘 융액을 가열하는 히터와, 히터의 측면, 하부, 상부를 각각 에워싸 챔버의 외부로 방출되는 열을 차단하는 제1 내지 제3 열차폐 구조체와, 성장된 단결정 잉곳에 히터의 열이 전달되지 않도록 단결정 잉곳을 에워싸는 열쉴드를 포함하여 이루어진 단결정 잉곳의 성장장치에 있어서, 가스공급관을 통해 공급되어 석영 도가니와 흑연 도가니 사이의 틈으로 유입된 불활성 가스가 흑연 도가니 외부로 흐르도록 하는 제1 흐름 유발수단과, 흑연 도가니 외부로 흐르는 불활성 가스가 히터 외부로 흘러 진공 배기관으로 배기되도록 하고, 진공 배기관에서 불활성 가스가 석영 도가니 내부로 유입되지 않도록 하는 제2 흐름 유발수단을 포함하여 단결정 잉곳의 성장장치를 구성한다.